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全焊接簡易設計機體有最小限度死艙區,閥體材質符合 SEMI F-20 標準, “ 超高純度級別的半導體的生產應用材質規格,為 316L 不銹鋼 ” 。 Elgiloy 牌彈簧材質有強耐久性以及耐腐蝕性,以便延長其循環壽命,操作無噪音,多種端口連接選擇。
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