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全焊接簡易設計機體有最小限度死艙區,閥體材質符合SEMI F-20標準,“超高純度級別的半導體的生產應用材質規格,為316L不銹鋼”。 Elgiloy牌彈簧材質有強耐久性以及耐腐蝕性,以便延長其循環壽命,操作無噪音,多種端口連接選擇。
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